β射线法扬尘监测设备由采样泵、切割器、β源、电源、检测系统、温湿联控系统（DHS）、数据采集处理单元、数据传送单元、配套软件及辅助单元组成。

贝塔射线法扬尘在线监测仪通过对衰减量的测定计算出颗粒物的质量，根据采样流量、采样时间和滤膜面积来计算实际状态下环境空气中颗粒物的浓度。该设备适用于建筑工地、道路施工、工厂厂界等颗粒物的在线监测。

贝塔β射线扬尘监测系统可自动测量和记录浓度，采用的是贝塔射线吸收法的工作原理，将C-14作为发射源，其发射恒定的高能量电子，样品空气通过切割器以恒定的流量经过进样管，颗粒物截留在滤膜上。β射线通过滤膜时，能量发生衰减。